O curso tem por objetivo apresentar os fundamentos das técnicas utilizadas em micro/nano fabricação de dispositivos, em nível de graduação e pós-graduação, no qual serão enfatizadas as técnicas e infraestrutura disponíveis no LABNANO-CBPF (Laboratório Multiusuário de Nanociência e Nanotecnologia). Ao final do curso, espera-se que o aluno tenha conhecimento básico das técnicas utilizadas no processo de micro/nano fabricação, assim como, a capacidade de planejar um processo de micro/nano fabricação em um ambiente de sala limpa.
Micro e nanofabricação no LABNANO/CBPF
Bibliografia
1) FRANSSILA, Sami. Introduction to Microfabrication. Chichester, UK: John Wiley & Sons, Ltd, 2010. Disponível em: https://doi.org/10.1002/9781119990413
2) KOVACS, Grgory T.A. Micromachined Transducers Sourcebook. New York, NY: McGraw-Hill;, 1998.
3) MADOU, Marc J. Fundamentals of Microfabrication and nanotechnology, volume II, Manufacturing Techniques for Microfabrication and Nanotechnology. [S. l.]: CRC Press, 2011b. Disponível em: https://doi.org/10.1201/9781439895306
4) SENTURIA, Stephen D. Microsystem Design. 1. ed. Boston: Kluwer Academic Publishers, 2002. Disponível em: https://doi.org/10.1007/b117574
5) OHRING, Milton. Materials Science of Thin Films. 2aed. [S. l.]: Academic Press, 2001
Pré-requisitos
- Haver concluído o ciclo disciplinas de Física
- Geral no curso de graduação.
Professor
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Rubem Sommer (CBPF)
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Gabriel Gama (CBPF)
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Juciane Alves (CBPF)
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Syed Adnan Raza (CBPF)
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Roberta Dutra (CBPF)
